搞定宣发和youtube,林平安又进入了长时间的开发模式。
五月底的深圳,雨季刚过,空气中透着一股湿热的躁动。
观澜光刻城一号总装车间内,那种躁动被彻底隔绝在厚重的防爆墙之外,取而代之的是一种近乎凝固的死寂。
一台足有两层楼高、占地几十平方米的银白色巨兽,静静地矗立在超净间的中央。
它有着复杂的管路、精密的镜头组、以及那个被无数工程师视为“禁区”的核心部件——浸没式光刻头。
这就是代号“盘古”的国产首台浸没式光刻机原型机。
此时此刻,它像是一头沉睡的巨龙,等待着最后的唤醒。
现场的气氛压抑得让人喘不过气来。
彼得双手死死地抓着控制台的边缘,他的额头上渗出了细密的汗珠,尽管车间里的恒温系统一直维持在令人舒适的22度。
不仅是他,身后那几十名来自全球各地的顶尖工程师,此刻也都像是等待宣判的囚徒。
有人在胸口画着十字,有人在转动手里的笔,还有人在不停地吞咽口水。
“First Light”(首光)。
这是光刻机制造领域最神圣、也最令人畏惧的词汇。
它意味着这台由十万个零件组成的精密机器,将第一次真正通电、通光、通水,去挑战物理学的极限。
一旦失败,可能意味着无数个日夜的努力化为泡影。
“老板,所有子系统自检完毕。”
何奇的声音打破了死寂,“水循环系统正常,激光器预热完成,工件台……准备就绪。”
所有人的目光都集中到了那个站在总控台前的年轻人身上。
林平安。
他依然穿着那身洁白的防尘服,护目镜后的眼神平静如水,仿佛他面对的不是人类工业皇冠上的明珠,而是一台普通的微波炉。
“彼得,你看起来很紧张?”
林平安转过头,甚至还有心情调侃了一句。
“boSS……这可是浸没式!水和光,这两种东西本来就是冤家!”彼得的声音都在抖,“只要有一个气泡,哪怕是微米级的气泡,光路就会发生折射,曝光就会失败!这就像是在每秒高速移动的过山车上穿针引线!”
“在别人那里,是冤家。”
林平安转过身,手指轻轻放在了那个红色的“启动”按钮上。
“但在我这里,它们是情人。”
林平安小声开口,“小白,接管全系统。”
“明白,先生。”
耳机里传来小白那让人无比安心的声音,“流体力学模型加载完毕,热透镜效应补偿算法已就位,实时波前像差校正已启动。”
“那就……点火。”
林平安的手指轻轻按下。
“嗡——”
一声极低沉、极具穿透力的电流声瞬间响彻车间。
这头沉睡的巨兽,苏醒了。
“注水!”
随着指令下达,那个最令人提心吊胆的环节开始了。
超纯水通过特制的喷嘴,被注入到投影镜头和晶圆之间的那层狭小缝隙中。
那是只有几毫米的间隙!
水流必须形成一个完美、稳定、且随着晶圆台高速运动而不会破碎的“水膜”。
这就好比你要在疾驰的高铁顶上顶着一杯水,还得保证水面连一丝涟漪都没有。
大屏幕上,高速摄像机实时传回了微观视角的画面。
彼得瞪大了眼睛,死死盯着屏幕。
“气泡!千万别有气泡!”他在心里疯狂祈祷。
然而,画面上的一幕让他彻底傻眼了。
水流极其顺滑地流过,在空气气帘的约束下,乖巧得像是一块凝固的水晶。
没有湍流。
没有飞溅。
更没有该死的气泡!
“这……这流体控制……”彼得喃喃自语,“这简直就是艺术!它是怎么做到的?它是怎么预判液体流向的?”
他不知道,在小白的算力世界里,每一个水分子的运动轨迹都已经被模拟了上亿次。
这就是“全知全能”。
“流场稳定。”林平安的声音依旧平淡,“开始曝光。”
“滋——滋——滋——”
深紫色的ArF激光束穿过复杂的透镜组,穿过那层完美的水膜,狠狠地撞击在涂满光刻胶的12寸晶圆上。
工件台开始疯狂移动。
那是令人眼花缭乱的速度,每秒钟移动数百次,还要保持纳米级的定位精度。
“这就是所谓的‘加强版双工件台’技术?”
旁边的一个德国工程师看得目瞪口呆,“这速度比以前的ASmL的还要快30%!而且稳得像磐石一样!”
十分钟。
仅仅十分钟,一张晶圆曝光完成。
机械臂将其送入显影机。
所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。
显影完成。
晶圆被送到了高倍电子显微镜下。
图像被投射到了中央大屏幕上。
那一刻。
车间里响起了一片抽气声。
屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。
线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(LER)。
“测量线宽!”彼得吼道。
“线宽……45.00nm!”
检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于0.5nm!套刻精度……2nm!”
“轰——!!!”
虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。
“成功了!我们成功了!”
“45纳米!一次成功!上帝啊!”
“这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”
彼得冲到屏幕前,像个疯子一样抚摸着那张图像,眼泪夺眶而出。
“完美……这是我这辈子见过的最完美的光刻线条!这是工业的奇迹!”
他转过身,看着林平安的眼神里充满了狂热的崇拜,就像是在看一个降临凡间的神祗。
“老板!您知道这意味着什么吗?我们跨过了90纳米,跨过了65纳米,直接干到了45纳米!”
“我们领先了世界整整一代!”
然而,林平安并没有表现出太多的激动。
他只是看了一眼数据,微微皱眉。
“良品率才95%?”
他摇了摇头,“不够。”
“什么?95%还不购?”彼得差点一口气没上来,“老板,这是原型机!第一次曝光!ASmL以前的量产机良品率刚开始也才80%啊!”
“那是他们菜。”
林平安语气淡然,却狂妄至极。
“我们要做的,不是追赶,是碾压。”
“小白,启动‘光刻之神’模式。”林平安再次轻声呼唤。
“收到,先生。正在进行全参数反向优化。”
下一秒。
屏幕上的数据开始疯狂跳动。
那不是几十个参数在变,那是几亿个变量在同时调整!
激光功率、焦距微调、液流速度、工件台加速度、甚至连环境温度的0.01度波动……
小白通过机器学习,在几秒钟内完成了人类工程师需要数年才能完成的“校准循环”。
“优化完毕。参数已更新。”
“再来一次。”林平安下令。
第二张晶圆送入。
曝光。
显影。
检测。
当新的数据跳出来的时候,整个车间彻底安静了。
那种安静,是因为极度的震撼而导致的失语。
良品率:99.9%!
这是一个在半导体制造领域被称为“神之领域”的数字。
这意味着,这台机器生产出来的芯片,几乎没有废品!
这意味着,成本将大幅降低,产能将爆炸式增长!
彼得的双腿一软,直接跪在了地上。
他看着那台银白色的巨兽,嘴唇哆嗦着:
“这不是机器……这是……这是神迹……”
“几分钟……只用了几分钟就完成了几年的校准……”
“老板,您到底是什么人?”
林平安脱下护目镜,露出一张年轻而英俊的脸庞。
他走到彼得面前,伸手将这位世界顶级的技术专家扶了起来。
“我?”
林平安笑了笑,拍了拍彼得的肩膀。
“我只是个相信科学的生意人。”
“彼得,别跪着了。以后这种场面还多着呢,你得习惯。”
他转身,面向所有目瞪口呆的工程师和员工,张开双臂。
“各位。”
“今天,我们创造了历史。”
“我宣布,中国第一台,也是世界第一台量产型浸没式光刻机——”
“【盘古一号】。”
“正式下线!”
“哗——!!!”
掌声、欢呼声、尖叫声,如同海啸一般淹没了整个车间。
有人把帽子扔向空中,有人互相拥抱痛哭,甚至有人激动得晕了过去。
太不容易了!
从被封锁、被嘲笑、被质疑,到今天的一鸣惊人、一飞冲天!
他们仅仅用不到一年的时间,走完了西方三十年的路!
而在这片狂欢的海洋中心。
林平安依然保持着那份独特的冷静。
“盘古开天辟地。”
“从今天起,这片混沌的半导体世界,该由我们来重新定义规则了。”
他转头看向窗外。
那里是南方。
是台积电的废墟,是ASmL的灰烬。
“抱歉了,各位同行。”
“你们没路走了。”
“因为路,都在我脚下。”
……
当天晚上。
庆功宴就在光刻城的食堂举行。
没有五星级酒店的奢华,但有最硬的菜,最烈的酒。
林平安端着酒杯,走到彼得那一桌外国专家面前。
这帮老外此刻已经喝嗨了,一个个面红耳赤,在那儿用各种语言高呼“林总万岁”。
“彼得。”
林平安敬了他一杯。
“老板!”彼得赶紧站起来,有些大舌头,“这酒……真带劲!就像那台机器一样!”
“喜欢就好。”
林平安笑着说道,“不过,这只是个开始。”